ZLNS dysponuje stanowiskami technologicznymi na bazie reaktywnego rozpylania magnetronowego z wyrzutniami magnetronowymi (2”-4”), pracującymi w systemach próżniowych z zasilaniem stało- (DC) i zmiennoprądowym (RF).
Otrzymywane są cienkie warstwy metaliczne oraz tlenków metali, m.in. TiO2, ZnO, WO3, MoO3, CuO, VOx, SnO2, Fe2O3, In2O3, Al, Ag, Au, Zn, Cu, W, Mo, Ti, TiN, itd.
Wytworzone cienkie warstwy są charakteryzowane pod kątem własności optycznych, morfologicznych, strukturalnych i elektrycznych.
Odpowiedzi cienkich warstw wytwarzanych na podłożach sensorowych są badane w atmosferze gazów, np. tlenku węgla, dwutlenku azotu, wodoru, propanu-butanu, metanu, amoniaku, acetonu itp.
Stanowiska technologiczne
Wytwarzanie cienkich warstw
- Stanowisko osadzania cienkich warstw metodą Langmuir-Blodget
- Płuczki ultradźwiękowe, wagi laboratoryjne
- Stanowiska do reaktywnego rozpylania
- Technologiczno-pomiarowe stanowisko do wytwarzania i badań in situ nanostruktur sensorowych, zawierające Wysokopróżniowy system do nanoszenia nanostruktur sensorowych, składający się z niezależnych 4 komór spełniających standardy ultra-wysokiej próżni (UHV):
- komory do nanoszenia cienkich warstw metodą reaktywnego jonowego rozpylania (komora procesowa) firmy Prevac,
- komory do charakteryzacji otrzymanych cienkich warstw, w tym do pomiaru przy pomocy sondy Kelvina i rezystancyjnej sondy czteropunktowej (komora sensorowa),
- komory załadowczej
- komory dystrybucyjnej
Montaż
- Mikrozgrzewarka (Hughes MCW-550)
- Bondery: krawędziowe (MDB 10 i MDB-11 ) oraz kulkowy (Delvotec 5330)
- Stacje lutownicze (stanowiska montażowe dla studentów)
Charakteryzacja
- Spektrometr optyczny (Perkin Elmer Lambda 19)
- Spektrometr masowy (Hiden HPR-20)
- Chromatograf gazowy (SRI GC 310)
- Stanowiska do pomiarów odpowiedzi sensorów gazów
- Stanowisko do badania materiałów metodą spektroskopii impedancyjnej (Solartron/Ametek XM-MTS)
- Stereoskopowe mikroskopy optyczne
- Stanowiska do charakteryzacji prądowo napięciowej ogniw fotowoltaicznych